ファインデバイス部 ー オゾン

高品質で環境に優しいオゾンを提供いたします。


オゾンについて OZONE

オゾンは分解力に優れ、殺菌・脱臭・漂白・浄化など様々な用途に活用されています。

当社は一般産業から半導体の洗浄に至るまで幅広い分野への納入実績があり、お客様のニーズに沿ったカスタマイズをご提案しております。

オゾン自体は人体に対して有害な物質ではありますが、自己分解力があり生成・活用後は数時間で酸素へと戻るので残留する心配がありません。

例えば、殺菌・脱臭・漂白などで使用される化学薬品も人体に影響のある有害な物質であることは変わりありません。
また、これら化学薬品による成分はオゾンと違い有害化合物として残留する事が殆どです。

自然界にも低濃度で存在するオゾンは、取扱方法に注意を払えば人為的に作られた化学薬品よりも比較的安全かつ効果的に洗浄効果を得ることができます。

洗浄

 洗浄 

オゾンの強い酸化作用で植物プランクトンを死滅させるだけでなく、水の脱色・有機物の酸化や分解作用・脱臭の効果も併せ持ち、これらを利用して水質浄化を行います。

有機化合物の残留もなく、塩素使用時のような後処理も不要となります。

殺菌

 殺菌 

オゾンの持つ優れた殺菌力は、空気内で塩素の約1.65倍、水中では約7倍と言われています。

また、オゾンによる殺菌は「溶菌」と呼ばれており、菌の細胞膜を破壊して繁殖を防ぎ「耐性菌」をつくらせない作用があります。

脱臭

 脱臭 

空気清浄機のフィルターは、吸着したにおいの元を断つことが難しい為、定期的なフィルターの交換が必要となります。

オゾンによる脱臭は、においの成分を分解して空気を浄化するため、隅々まで効率よく脱臭を行うことができます。

漂白

 漂白 

オゾンは常温での酸化表迫力がとても優れていることから、衣類など様々なものに活用ができます。

また、洗剤などの化学薬品などが残留することもなく、漂白後は酸素に自己分解するので安心してご使用いただけます。


オゾン装置の解説 OZONE DEVICE

オゾンの発生原理


オゾンの発生原理

2つの電極間に誘電体を設け、高電圧を印加すると無声放電と呼ばれる放電が発生します。

この無声放電中に酸素(O2)を通過させると、オゾン(O3)を生成します。


この様な方法でオゾンガスを発生させる装置の事を、オゾナイザといいます。

当社ではオゾンやオゾン水を効率よく発生・活用するために下記の工夫を導入しております。


石英二重放電管

石英二重放電管

当社のオゾナイザには、自社開発した石英二重放電管を採用しております。上図のように石英管を二重構造にすることで、石英管の間に極薄の放電空隙(無声放電が発生するエリア)を確保しています。

放電空隙を狭くすることで、酸素が無声放電に触れる機会を増やし、電源負荷を低減して、オゾン化への効率を高めています。

石英スプレンダー

石英スプレンダ

当社では、オゾン水製造装置のオゾンガスと純水のミキシング工程で、自社開発した石英スプレンダーを採用しております。

素材を石英とし、クリーン度と性能の維持に特化した対応をしております。又、お客様の用途に応じ、材質や仕様にお答えしております。

コンタミレス循環型システム

コンタミレス循環型システム

当社の装置は、オゾンやオゾン水の触れる接液部・接ガス部が石英製もしくはテフロン製の素材のみで構成されているため金属元素などの混入(コンタミネーション)が発生しません。

半導体の洗浄などでは高額な超純水を利用する事から、当社では「コンタミレス循環型システム」を導入して無駄な排水をする事なくオゾン水を有効活用しております。

■当社オゾン装置の特徴
オゾンの品質不純物の混入がないクリーンなオゾンをご提供します。
オゾン装置の品質無駄を省いたシンプルかつコンパクトなシステムで、高メンテナンス性と長寿命化を両立しています。

経済性
石英を主要部品に採用する事で、部品交換などのランニングコストを削減しています。
上記の放電管とスプレンダーが、効率よくオゾンガス・オゾン水を製造します。
一般的なモジュール方式と比較しますと、弊社スプレンダーは頻繁に交換する必要がない事から維持コストを節約できます。
循環型システムを採用する事で、従来の送水型と比較して約1/4の水使用量でご利用いただけます。
信頼性
安全性
大小合せて200台を超える納入実績と、その過程で培われたノウハウで柔軟に対応いたします。
検査工程も重視した信頼性のある装置です。SEMI/CE/KC等の規格につきましても、必要な場合はご相談下さい。

カスタマイズ
お客様の多彩なニーズにお応えできるように、必要濃度・送水及び循環など最適なご提案を準備いたします。
当社ではスプレンダー方式の他にも、モジュール方式もお取り扱いしております。
昇圧ポンプや排オゾンの除外等の付帯設備も合せて、様々なオプションによる柔軟な対応が可能です。


まずは下記お問い合わせページにて気軽にご相談下さい。